應(yīng)用Fluorogard? NX 過濾器應(yīng)用
- 半導(dǎo)體和顯示器市場(chǎng)應(yīng)用中的中高流量化學(xué)應(yīng)用
- 濕法蝕刻和清洗 (WEC) 應(yīng)用/一次通過和再循環(huán)
- 大宗化學(xué)品制造
- 散裝化學(xué)品輸送系統(tǒng) (BCDS)
- 腐蝕性水性化學(xué)品
- 高級(jí)溶劑
注意：不建議將 Fluorogard NX 過濾器用于 SPM、SC1 和 SC2 等高排氣解決方案。Entegris 建議在這些應(yīng)用中使用QuickChange???NX 過濾器。
NXT 筒式過濾器
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? |
? |
? |
| 墨盒長(zhǎng)度 |
A（總體） |
B（對(duì)照） |
C（肩部） |
| 4” |
132.3 毫米 (5.21") |
115.0 毫米 (4.53") |
113.0 毫米 (4.45") |
| 10 英寸 |
262.3 毫米 (10.33") |
245.0 毫米 (9.65") |
243.0 毫米 (9.57") |
| 20 英寸 |
498.3 毫米 (19.62") |
481.0 毫米 (18.94") |
479.0 毫米 (18.86") |
| 30 英寸 |
738.0 毫米 (29.06 英寸) |
721.0 毫米 (28.39 英寸) |
719.0 毫米 (28.31") |
NXE 筒式過濾器
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? |
? |
? |
| 墨盒長(zhǎng)度 |
A（總體） |
B（對(duì)照） |
C（肩部） |
| 10 英寸 |
244.0 毫米 (9.61") |
227.0 毫米 (8.94") |
225.0 毫米 (8.86") |
| 20 英寸 |
471.0 毫米 (18.54") |
454.0 毫米 (17.87") |
452.0 毫米 (17.80") |
| 30 英寸 |
699.5 毫米 (27.54") |
682.0 毫米 (26.85 英寸) |
681.0 毫米 (26.81")
?
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產(chǎn)品規(guī)格
| ? |
? |
NXT 墨盒 |
NXE 墨盒 |
| 材料 |
膜 |
疏水性聚四氟乙烯 |
| ? |
支架、芯線、套管、端蓋、Chemlock?鑰匙 |
肺動(dòng)脈高壓 |
| ? |
O 形圈選項(xiàng) |
E-FKM、E-ETP、Kalrez? |
| 留存率 |
? |
0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5、10 微米、15、30 納米 |
0.05、0.1、0.2、0.5 微米、15、30 納米 |
| 膜表面積 |
? |
?4”：0.36 平方米（?3.88平方英尺） |
10”：2.1 平方米（22.6 平方英尺） |
| ? |
? |
10 英寸：0.9 平方米（?9.68平方英尺） |
20 英寸 4.2 平方米（45.21 平方英尺） |
| ? |
? |
20 英寸：1.8 米2（19.38 平方英尺） |
30 英寸 6.3 平方米（?67.81平方英尺） |
| ? |
? |
30 英寸：2.7 平方米（?29.06平方英尺） |
? |
| 金屬萃取物 |
? |
對(duì) 23 種金屬進(jìn)行檢測(cè) |
| 最大工作條件 |
工作壓力 |
0.58 兆帕（5.8 巴，84 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
| ? |
正向壓差 |
0.44 兆帕（4.4 巴，64 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
| ? |
? |
0.05 兆帕（0.5 巴，180°C [356°F] 時(shí) 7.5 磅/平方英寸） |
| ? |
反向壓力 |
0.34 兆帕（3.4 巴，50 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
| ? |
工作溫度 |
180°C（356°F） |
| 注意：預(yù)濕選項(xiàng)發(fā)貨時(shí) H?2?O?2含水量為 0.9%。請(qǐng)聯(lián)系 Entegris 了解正確的使用和處理方法。Fluorogard NX 過濾器不含 PFOA。保質(zhì)期（預(yù)濕選項(xiàng)）為一年。 |
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