新推主營品牌韓國ATOVAC真空計(jì)、壓力計(jì)、排氣節(jié)流閥、質(zhì)量流量控制器

歡迎來到 ATOVAC co.,ltd.

韓國ATOVAC公司成立于1997年10月，開始開發(fā)半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體和真空控制系統(tǒng)、測量等主要部件。

我們正在推動 MFC、MFC 控制器、對流壓力計(jì)和控制器、離子壓力計(jì)和控制器、電容壓力計(jì)、節(jié)流閥控制器等智能組件的開發(fā)。我們 ATOVAC 將保持我們作為可靠和受人尊敬的公司的

地位未來和現(xiàn)在。請給我們更多的鼓勵和建議。我們始終對客戶的意見持開放態(tài)度。

GVC2200真空計(jì)控制器

GVC2200型號可同時(shí)連接使用“熱陰極電離計(jì)、對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“電容壓力計(jì)”,測量范圍為高真空(10-9Torr)至大氣壓(1000Torr)。這相當(dāng)于“對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“熱陰極電離計(jì)”的連續(xù)測量范圍。另外,該控制器的設(shè)計(jì)是根據(jù)連接規(guī)的個(gè)數(shù),按照需求的情況,可以對測量通道進(jìn)行選擇。Interface端口可與外部其他機(jī)器連接，由6至8個(gè)獨(dú)立的設(shè)定點(diǎn)繼電器,4個(gè)模擬輸出，TTL、IG開/關(guān)功能組成。另外,利用內(nèi)部設(shè)定點(diǎn),在脫離對流計(jì)壓力測定范圍進(jìn)入高真空時(shí),自動打開離子計(jì),除氣功能也可作為時(shí)間控制使用。

特點(diǎn)

離子真空計(jì)控制器標(biāo)準(zhǔn)尺寸，便于安裝

可以選擇測量通道

圖形LCD顯示。

6、8個(gè)Set-point供外部設(shè)備使用

離子計(jì)保護(hù)功能（自動開啟/關(guān)閉）

狀態(tài)欄可以確認(rèn)SP、IG on/off等目前狀態(tài)

ATM、零點(diǎn)設(shè)置按鈕

技術(shù)規(guī)格

測量范圍	對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì) : 1000Torr至8.0 x 10-4 Torr 離子計(jì) : 1.0x10-4至1.0 x 10-9 Torr
離子計(jì)靈敏度	工廠設(shè)置:10/Torr
發(fā)射電流	0.1mA、1mA、10mA 可調(diào) （默認(rèn)設(shè)置：1mA）
收集極電壓	0V
陰極電壓	+30Vdc
柵極電壓	+180Vdc
除氣	I2R：10Vac 5amp （Max）
顯示	128 x 64 位LCD
設(shè)定點(diǎn)繼電器	6個(gè)，可獨(dú)立設(shè)置，SPDT (0.5 Amp @125 VAC)
設(shè)定范圍	對流計(jì): 1000 ~ 1.0 x 10-3 Torr 離子計(jì): 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr
電壓輸出	0-10Vdc 用于2個(gè)CG、1個(gè)IG 0-10Vdc用于電容壓力計(jì)
接口	RS232C
電源	195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA
尺寸	W x H x D : 241mm x 88mm x 250mm

離子計(jì)

Bayard-Alpert（熱陰極）規(guī)管的壓力指示是基于氣體分子電離產(chǎn)生的連續(xù)電流。負(fù)電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極（陽極）加速運(yùn)動。電子進(jìn)入柵極和對地連接的收集極空間內(nèi)。在這個(gè)空間內(nèi)電子與真空系統(tǒng)中的氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對柵極的電壓和電子發(fā)射電流下，壓力低于10-3Torr時(shí)正離子形成率直接與分子密度（壓力）相關(guān)。離子流的強(qiáng)度在經(jīng)壓力單位調(diào)校的微安計(jì)上顯示出來。由于壓力的指數(shù)是線性的，熱陰極BA規(guī)管通常在壓力低于10-3Torr時(shí)被認(rèn)為進(jìn)行連續(xù)的壓力測量時(shí)精確的。

技術(shù)規(guī)格

測量范圍	4*10-10至10-3Torr
精度-N2（典型值）	±20%
X射線極限	4*10-10Torr
靈敏度-N2	10/Torr
電子轟擊除氣EB	100W
焦耳除氣I2R	10A時(shí)，6.5至7.3Vac
陰極-加熱電流	4-6A
陰極-加熱電壓	3-5V
陰極-電壓	+30Vdc
收集極電壓	0V
柵極電壓	+180Vdc
烘烤	450℃
收集極	0.01英寸直徑，鎢絲
陰極	雙鎢絲或單根銥絲
柵極	難熔金屬
全長	152mm
插入長度	無
外殼	Nonex 7220玻璃
安裝方向	任意，垂直優(yōu)先
法蘭	3/4英寸玻璃管口和金屬管口; KF25; CF35

對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)

CG202真空測量范圍為8.0 x 10-4 至1000 Torr。需配套GVC2200控制器使用。

技術(shù)規(guī)格

測量范圍	8.0 X 10-4至1000Torr
燈絲材質(zhì)	鉑絲99.999%
安裝方式	水平安裝
工作溫度	0-50℃
烘烤溫度高可達(dá)	50℃
法蘭	KF16、KF25、CF16

壓力控制系統(tǒng)

APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計(jì)提供一個(gè)電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號連接顯示器，同時(shí)使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時(shí),可以更快地達(dá)到所需的壓力。內(nèi)置2個(gè)過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

特點(diǎn)

至多可以連接4個(gè)MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個(gè)MFC)組成。

標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠(yuǎn)程(RS-485選項(xiàng))，實(shí)現(xiàn)所有遠(yuǎn)程控制都是可能的。